蒋冰
,
丁宁
,
陈乙豪
,
马蕾
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.10.028
采用射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,以SiH4、CH4和 H2为反应气体,在单晶硅和石英衬底上制备a-Si∶H/a-SiC∶H 多层薄膜。利用透射电子显微镜(TEM)对样品的微结构进行了表征,同时对其电子输运性质和光吸收特性进行了实验研究。结果表明,本实验条件下制备的多层薄膜样品为非晶态多层薄膜结构,并且样品具有良好的周期性结构和陡峭的界面特性。室温条件下,样品在垂直方向上呈现出多势垒顺序共振隧穿特性。由于量子限制效应,当a-Si∶H 势阱层厚度＜8 nm,随着势阱层厚度减小,样品的光学带隙增大,光吸收系数减小。
关键词:
PECVD
,
多层薄膜
,
微结构特征
,
电子输运性质
,
光吸收特性
